메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김영광 (과학기술연합대학원대학교) 안누호앙 (과학기술연합대학원대학교) 이혁교 (과학기술연합대학원대학교) 김영식 (과학기술연합대학원대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.36 No.11
발행연도
2019.11
수록면
1,003 - 1,007 (5page)
DOI
10.7736/KSPE.2019.36.11.1003

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Diffractive Optical Element (DOE) composed of repetitive patterns is necessary for 3D measurement, or for converting a laser beam into several spots. In this study, DOEs were fabricated through a direct laser lithographic system of which it is easy to fabricate a pattern on the specimen at low cost and under relatively simple process conditions. A commonly used method in laser direct laser lithography is the thermochemical technique. In this way, a single-line can be produced. At this time, when the high power of the laser is used, the laser ablation phenomenon occurs, so that a dual-line can be produced. As a result, it is possible to fabricate a pattern quickly with the proposed process method. And especially, it can increase the effect in repetitive patterns production. To fabricate repetitive fine patterns using dual-line, hexagonal and tripleshaped patterns were fabricated, by using the writing speed and laser intensity appropriately. Optical performance evaluation was performed by comparing the diffracted image of the fabricated hexagonal repetitive patterns with the simulation result.
#Laser lithographic system (레이저 노광시스템) #Direct laser lithography (레이저 리소그래피) #Diffractive optical elements (회절광학소자) #Laser ablation phenomenon (레이저 절삭 현상)

목차

1. 서론
2. 레이저 직접 노광기의 구성 및 원리
3. 이중선 제작을 위한 공정 조건
4. 패턴 제작 및 검증
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
Twardowski, P., Serio, B., Raulot, V., and Guilhem, M., “Three- Dimensional Shape Measurement based on Light Patterns Projection Using Diffractive Optical Elements,” Proc. of International Society for Optics and Photonics, Paper No. 77162I, 2010. google schola Zhang, S., “Recent Progresses on Real-Time 3D Shape Measurement Using Digital Fringe Projection Techniques,” Optics and Lasers in Engineering, Vol. 48, No. 2, pp. 149-158, 2010. google schola Su, X. and Zhang, Q., “Dynamic 3-D Shape Measurement Method: A Review,” Optics and Lasers in Engineering, Vol. 48, No. 2, pp. 191-204, 2010. google schola Arimoto, H. and Javidi, B., “Integral Three-Dimensional Imaging with Digital Reconstruction,” Optics Letters, Vol. 26, No. 3, pp. 157-159, 2001. google schola Schwemmer, G. K., Rallison, R. D., Wilkerson, T. D., and Guerra, D. V., “Holographic Optical Elements as Scanning Lidar Telescopes,” Optics and Lasers in Engineering, Vol. 44, No. 9, pp. 881-902, 2006. google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-555-001319056