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- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.11
- 수록면
- 2,144 - 2,148 (5page)
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Wavelength-tuning interferometry is an effective means of detecting the intensity signals necessary to obtain thickness information, particularly the optical thickness variation of transparent plates. The phase-shift error caused by the non-linearity of a phase-shift can lead to spatially uniform error. When the absolute optical thickness is measured, this could be a significant error source. In this study, we developed a new 19-sample phase-shifting algorithm that can suppress spatially uniform error and harmonic components up to the sixth order. Utilizing the Taylor expansion and symmetric/asymmetric properties, we created a new sampling window. The absence of an equation is solved by adjusting the first and second value of sampling window. Finally, the characteristics of the new 19-sample phase-shifting algorithm are shown by analyzing the Fourier transform of sampling functions, phase-dependent measurement errors, and the root mean square (RMS) error.
목차
Abstract
1. 서론
2. 19-샘플 위상 시프팅 알고리즘
3. 19-샘플 위상 시프팅 알고리즘의 특징
4. 결론
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