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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.5
- 수록면
- 435 - 443 (9page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2022.46.5.435
이용수
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파장 주사 간섭법은 투명 평판의 광학적 두께 측정을 위해 사용된다. 파장 주사 간섭법을 사용할 때 참조면과 투명 평판 사이의 다중반사에 의해 간섭 신호들이 발생하며, 이 신호들의 주파수를 감지함으로써 신호를 구별하고, 투명 평판의 두께 정보를 얻을 수 있다. 하지만, 투명 평판 내에서 굴절률 분산과 파장 주사의 비선형성에 의해 변조 주파수가 정확한 값에서 벗어나게 되고, 이로 인해 측정 오차가 발생한다. 본 연구에서 굴절률 분산과 비선형성을 억제하고, 투명 평판의 광학적 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 새로운 21 샘플 위상 검출 알고리즘을 도출하였다. 푸리에 표현법을 이용해 새로운 알고리즘을 주파수 영역에서 시각화하고, 투명 평판의 광학적 두께 측정 실험을 수행하여 새로운 알고리즘의 유용성을 검증했다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 21 샘플 위상 검출 알고리즘
3. 21 샘플 알고리즘의 오차 억제 성능
4. Fizeau 간섭계를 이용한 검증 실험
5. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (19)
참고문헌 신청
Kim, Y., 2019, “Interferometric Profilometry of Absolute Optical Thickness of Transparent Plate Using Wavelength Tuning Fringe Analysis,” Journal of Mechanical Science and Technology, Vol. 33, No. 6, pp. 2841~2846.
de Groot, P., 2000, “Measurement of Transparent Plates with Wavelength-Tuned Phase-Shifting Interferometry,” Applied Optics, Vol. 39, No. 16, pp. 2658~2663.
Coppola, G., Ferraro, P., Iodice, M. and De Nicola, S., 2003, “Method for Measuring the Refractive Index and the Thickness of Transparent Platers with a Lateral Shear, Wavelength-scanning Interferometer,” Applied Optics, Vol. 42, No. 19, pp. 3882~3887.
Deck, L. L., 2003, “Fourier-Transform Phase-Shifting Interferometry,” Applied Optics, Vol. 42, No. 13, pp. 2354~2365.
Kim, Y., Hibino, K., Hanayama, R., Sugita, N. and Mitsuishi, M., 2014, “Multiple-Surface Interferometry of Highly Reflective Wafer by Wavelength Tuning,” Optics Express, Vol. 22, No. 18, pp. 21145~21156.
de Groot, P., 2000, “Measurement of Transparent Plates with Wavelength-Tuned Phase-Shifting Interferometry,” Applied Optics, Vol. 39, No. 16, pp. 2658~2663.
Coppola, G., Ferraro, P., Iodice, M. and De Nicola, S., 2003, “Method for Measuring the Refractive Index and the Thickness of Transparent Platers with a Lateral Shear, Wavelength-scanning Interferometer,” Applied Optics, Vol. 42, No. 19, pp. 3882~3887.
Deck, L. L., 2003, “Fourier-Transform Phase-Shifting Interferometry,” Applied Optics, Vol. 42, No. 13, pp. 2354~2365.
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