반도체 웨이퍼 레벨 테스트용 수직형 멤스 프로브의 허용 전류 특성에 관한 연구

김영진; 박윤휘; 김경섭; 서종환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김영진 (성균관대학교) 박윤휘 (코리아 인스트루먼트) 김경섭 (코리아 인스트루먼트) 서종환 (성균관대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2020년도 통합학술대회 논문집

발행연도: 2020.9

수록면: 515 - 515 (1page)

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#Vertical MEMS probe #Current carrying capability #SoC #Joule heating #Finite element analysis

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