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정준호 (대전대학교) 오지영 (대전대학교) 이윤석 (대전대학교) 김민희 (대전대학교) 김경남 (대전대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
114 - 114 (1page)

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4차 산업혁명으로 인해 여러 분야에서 고성능, 고집적, 고전적의 높은 기술 수준을 갖는 반도체가 요구되고 있다. 이에 따라 반도체 소자의 미세화 및 고집적화가 이루어져 왔으나 트랜지스터의 critical dimension이 atomic scale로 감소함에 따라 물리적인 한계에 도달하였다. 이에 원자층 식각 기술이 각^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548765');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#atomic layer etching(ALE) #silicon #chlorine #mesh-grid #radical #Cl plasma

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