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이찬희 (고등기술연구원) 주윤재 (무리기술) 김호상 (고등기술연구원) 김택겸 (롭틱스)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
67 - 67 (1page)

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웨어러블 디바이스 및 사물 인터넷에 대한 소비자 수요가 증가함에 따라 반도체 업계는 고밀도, 박막화, 유연화의 추세로 발전되고 있으며 기존의 검사 방법으로 검사하기 어려운 영역을 검사하기 위해 다양한 기술이 개발/적용되고 있다. 특히, 고속 고분해능의 형광 광학 시스템에 대한 연구 개발은 이러한 목적을 달성하기 위해 급속하게 이루어지고 있다. 본 연구에서는 형광 광학시스템을 이루는 핵심 부품인 줌 렌즈 어셈블리의 성능을 예측하기 위해 기존 상용 렌즈들과 비구면 형상의 렌즈들을 조합하여 성능시험용 렌즈 어셈블리를 제작하였다. 제작 이전에 관련 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040379');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Zoom lens assembly #High-speed fluorescence system #Commercial optical design software #Zemax #Semiconductor

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