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자료유형
학술저널
저자정보
이제성 (극동대학교) 이동희 (극동대학교)
저널정보
한국안광학회 한국안광학회지 한국안광학회지 제24권 제2호
발행연도
2019.6
수록면
161 - 167 (7page)
DOI
10.14479/jkoos.2019.24.2.161

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목적: 본 연구는 10.6 μm CO2 레이저용 F-theta 렌즈 설계 개발에 관한 것이다. 방법: 사용 레이저 빔의 직경 20 ㎜ 이내, 결상 점의 spot 직경 100 μm 이하, 광학계의 두께 35 ㎜ 이내, 작업거리 약 138.4 ㎜, 유효 결상 직경 약 71 ㎜ 이내의 사용자 요구조건을 만족하는 F-theta 렌즈를 설계하기 위해, 두 갈바노미러 구동각을 8가지 상태로 분리하고, 곡률반경 4개와 렌즈 두께 및 렌즈사이의 거리 3개와 EFL 등 8개의 변수를 F-theta 렌즈 최적화에 사용하였다. 결과: 최적화되어진 CO2 레이저용 F-theta 렌즈는 굴절력의 부호가 (−)(+)의 순서로 구성되는 2매의 렌즈로 구성되었다. 분해 가능한 선폭은 5.0 lps/㎜ (@35% MTF)이며, 유효 초점거리는 약 125.4 ㎜이며, 작업거리는 약 138.4 ㎜이며, 유효결상직경이 약 71 ㎜이며, 갈바노미러의 최대 구동각이 ±5.73o인 특성을 가지게 되었다. 결론: 본 연구에서 우리는 두 갈바노미러 구동각의 조합을 8가지 상태로 나누는 방법과 곡률반경 4개와 렌즈 두께 2개 및 렌즈사이의 거리와 EFL 등 8개를 최적화 변수로 사용함으로써 레이저 마킹기 또는 3D 프린팅 장비에 사용될 수 있는 125.4 ㎜의 EFL을 갖는 CO2 레이저용 F-theta 렌즈를 개발할 수 있었다.
#10.6 ㎛ laser #F-theta lens #Marking machine #3D printing #Ray aberration #10.6 ㎛ 레이저 #F-theta 렌즈 #마킹기 #3D 프린팅 #광선수차

목차

서론
대상 및 방법
결과 및 고찰
결론
REFERENCES

참고문헌 (20)

참고문헌 신청
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