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조현주 (옵토닉스) 정재우 (옵토닉스) 이상현 (한화) 김수종 (이오테크닉스) 이정섭 (이오테크닉스) 진대현 (이오테크닉스) 정지호 (이오테크닉스) 손승현 (이오테크닉스)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제33권 제6호
발행연도
2022.12
수록면
260 - 266 (7page)

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2개의 결합층과 2개의 격자 층으로 구성된 회절격자 구조를 형성하고, 최적화 기법을 통하여 −1차에서 높은 투과 회절 효율을 가지는 회절격자를 설계하였다. 설계된 회절격자는 설계 중심파장에서 99.997%의 transverse electric wave 회절 효율을 가지고 있었으며, 95% 이상의 회절 효율을 유지하는 파장 폭이 80 nm이고 입사각 폭이 20.0°이었다. 회절격자 공차 분석을 수행하여 95% 이상의 회절 효율을 가지기 위한 두께 공차가 최소 60 ㎚ 이상 확보되어 있고, 내부각도 10° 이내의 사다리꼴 모양에서도 회절 효율을 유지할 수 있음을 확인하였다.
#Chirped pulse amplification #Dielectric multilayer #Diffraction grating #Transmission grating #처프 펄스 증폭 #유전체 다층박막 #회절격자 #투과형 격자

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 투과형 회절격자 설계
Ⅲ. 회절격자 제작을 위한 공차 분석
Ⅳ. 결론
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