CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화

김태경 ,  황현덕 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구

박영욱 ,  허성녕 ,  신영일 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

CMP에서 연마 패드의 표면거칠기가 동압 및 재료 제거율에 미치는 영향

박영욱 ,  정선호 ,  신영일 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향

김현진 ,  이기훈 ,  박병준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

연마 압력 및 패드 표면 거칠기를 이용한 XGBoost 기반의 CMP 재료 제거율 예측

정종민 ,  정승훈 ,  신영일 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향

이다솔 ,  정해도 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

딥러닝을 이용한 패드 표면 거칠기 기반 CMP 재료 제거율 예측 모델링

정종민 ,  신영일 ,  박영욱 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

구조화된 패드의 표면 제어를 통한 세리아 CMP 성능 향상

권리경 ,  김도연 ,  정호경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

CMP 연마 패드의 표면거칠기가 동압 형성 및 재료 제거에 미치는 영향

박영욱 ,  정호경 ,  조한철 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface

W. J. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

Investigation of Heat Conditioning Method for CMP Pad

전상혁 ,  서장원 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .04

Prediction of CMP Material Removal Rate based on Pad Surface Roughness Using Deep Neural Network

정종민 ,  정선호 ,  신영일 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2023 .01

CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

DNN을 이용한 CMP 패드 컨디셔닝에서의 패드 마모 프로파일 예측

이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

SiO₂ CMP의 연마율 향상을 위한 마이크로패턴 패드 폴리머 물성 분석

강영정 ,  박영욱 ,  오지윤 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

광경화 적층제조된 CMP 패드의 연마 특성

김동근 ,  김산하

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06