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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2024.10
- 수록면
- 663 - 669 (7page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2024.48.10.663
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본 연구에서는 나노스케일 박막 내부에서 전파하는 종파를 레이저 측정법으로 검출하여 푸아송비를 평가하였다. 푸아송비는 매질의 종파속도와 탄성계수, 그리고 밀도에 관한 함수로 표현되므로 피코초 단위의 높은 시간분해능을 갖는 시간영역 열반사율 기법과 나노압입시험, 그리고 X선 반사율 기법을 사용하여 각 물성의 값을 구함으로써 결과를 얻었다. 전자빔 증착기로 준비된 150 nm 두께의 크로뮴 박막을 사용하여 실험법의 타당성을 검증하였으며, 스퍼터 증착된 100 nm 두께의 텅스텐 박막에 대하여 물성을 평가하였다. 실험 결과로부터 β상이 지배적인 조성을 갖는 경우에도 푸아송비에 대한 크기 효과는 나타나지 않음을 확인하였다. 본 연구는 차세대 3차원 반도체의 구조 안정성 설계를 위한 물성 데이터 구축에 일조할 것으로 기대된다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 실험
4. 결과 및 토의
5. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
Lee, H., Suh, S., Kim, S., Park, S. and Joo, Y., 2009, “Measurement of Poisson’s Ratio of a Thin Film on a Substrate by Combining X-Ray Diffraction with in situ Substrate Bending,” Electron. Mater. Lett., Vol. 5, No. 1, pp. 51~54.
Vlassak, J. J. and Nix, W. D., 1992, “A New Bulge Test Technique for the Determination of Young's Modulus and Poisson's Ratio of Thin Films,” J. Mater. Res., Vol. 7, No. 2, pp. 3242~3249.
Jung, B., Lee, H. and Park, H., 2012, “Measurement of Mechanical Properties of Thin Films Using a Combination of the Bulge Test and Nanoindentation,” Trans. Korean Soc. Mech. Eng. B, Vol. 36, No. 2, pp. 117~123.
Kim, H. J., Lee, M. Y., Jeong, H. B., Park, I. G. and Cho, I. S., 2019, “Residual Stress Measurement Method Using Ultrasonic Acoustic Velocity,” Trans. Korean Soc. Mech. Eng. C, Vol. 7, No. 1, pp. 33~40.
Oh, S., Kim, Y., Shin, Y. and Cho, H. J., 2008, “Poisson’s Ratio Scanning Using Immersion Ultrasonic Testing,” J. Korean Soc. Nondestruct. Testing, Vol. 28, No. 6, pp. 519~523.
Vlassak, J. J. and Nix, W. D., 1992, “A New Bulge Test Technique for the Determination of Young's Modulus and Poisson's Ratio of Thin Films,” J. Mater. Res., Vol. 7, No. 2, pp. 3242~3249.
Jung, B., Lee, H. and Park, H., 2012, “Measurement of Mechanical Properties of Thin Films Using a Combination of the Bulge Test and Nanoindentation,” Trans. Korean Soc. Mech. Eng. B, Vol. 36, No. 2, pp. 117~123.
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