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저자정보
이정명 (충남대학교) 조창훈 (충남대학교) 김윤영 (충남대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
158 - 158 (1page)

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최근 첨단 반도체 소자의 미세화로 인하여 나노/마이크로스케일 박막의 기계적 물성을 정밀하게 측정하는 방법에 대한 필요성이 점차 증가하고 있다. 다양한 측정기법 중 레이저 초음파를 이용한 측정법은 높은 시공간적 분해능을 가지며, 기존의 접촉식 측정법과는 달리 시험편을 손상시키지 않고 비파괴적으로 측정할 수 있으므로 소재 물성 측정 및 결함 검출에 널리 활용된다. 본 연구에서는 티타늄 박막의 기계적 특성을 관찰하기 위해 박막표면에서 전파하는 표면파를 정밀측정 하였다. 2 인치 석영 기판 위에 1 μm 와 300 nm 두께의 티타늄 박막을 전자빔 증착기(e-Beam Evaporator)를 이용하여 시편을 제작하였다. 아울러, 물성평가를 위해 펄스레이저와 연속파장 레이저로 구성된 표면파 측정 시스템을 구축하였다^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040469');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Titanium #Thin film #Elastic modulus #Surface acoustic wave #Laser ultrasonics

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