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자료유형
학술저널
저자정보
류상오 (Pusan National University) 김화영 (Pusan National University) 안중환 (Pusan National University)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.23 No.6
발행연도
2014.12
수록면
630 - 635 (6page)

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This study aims to develop a PZT?driven depth adjustment device with a flexure hinge and to investigate its static/dynamic characteristics. This device will be applied to rapidly and accurately trace a flat surface with slight waviness of up to several hundreds of micrometers in magnitude. One typical example is to cut a film coated on a steel plate. A depth control system composed of PMAC, PZT/PZT amplifier, flexure hinge/knife, and laser displacement sensor is implemented on a desktop three?axis machine and an actual cutting test is conducted on a steel workpiece with a sinusoidal?wavy surface. It is verified that the dynamic characteristics of the device limit the maximum cutting speed and depth precision.
#Thin film #Cutting process #Piezo actuator (PZT) #Flexure Hinge

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. PZT구동 유연힌지 설계
3. PZT 구동 깊이 변위 기구의 특성 실험
4. 철판 변위 추적 실험
5. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Lee, K. H. / 2009 / Polycarbonate and its Technical Trend in Extrusion Processing / Polymer Science and Technology 20 (1) : 16 ~ 29 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 정재인 / 2011 / 박막제조 기술의 동향과 전망 / 한국자기학회지 21 (5) : 185 ~ 192 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 김영식 / 2010 / 유연힌지형 정밀 스테이지의 모델링 및 운동제어 / 한국기계가공학회지 9 (6) : 51 ~ 58 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - Choi, H. S. / 2004 / Review of A High Precision Actuator Mechanism Using PZT / Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers 13 (2) : 524 ~ 529 dbpia 5. [학위논문] - Lee, J. K. / 2007 / A study on high frequency vibration cutting / 석사 / Pusan National University google schola

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