편광 저간섭성 주사 간섭계 고속 측정 기술

전준우 ,  정효빈 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

초소형 측정 프로브 기반 저간섭성 주사 간섭계

전준우 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구

현창홍 ,  김성룡 ,  김광락 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

두 간섭계를 이용한 광학식 형상 측정법

김태현 ,  김병창 ,  김건희 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2018 .04

실시간 3D 형상 측정을 위한 층밀리기 간섭계

서용범 ,  이혁교 ,  김영식

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

광간섭계 시스템의 파장과 측정 거리 최적화를 통한 정밀 진동 측정

남상범 ,  김종원 ,  김병기

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술

배재석 ,  박정재 ,  진종한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

튜너블 레이저와 간섭계를 이용한 정밀 진동 측정

김병기 ,  김종원

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

전단간섭계를 이용한 알루미늄 평판시험편의 결함 측정

윤나연 ,  이현준 ,  강찬근 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

대면적 자유곡면 형상 측정기 개발

김영식 ,  이혁교 ,  이주형 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

Deep Learning을 사용한 백색광 주사 간섭계의 높이 측정 방법

백상현 ,  황원준

멀티미디어학회논문지

2018 .08

3 차원 자유 곡면 측정을 위한 단일 영상 층밀리기 간섭계

서용범 ,  이혁교 ,  정효빈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

방향 판별 분산간섭계의 최적 조건 연구

윤영호 ,  김대희 ,  서용범 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

3D Surface and Thickness Profile Measurements of Si Wafers by Using 6 DOF Stitching NIR Low Coherence Scanning Interferometry

박효미 ,  최문성 ,  주기남

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

편광 격자 기반 층밀림 간섭계 응용

주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구

윤영호 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Nanometer-resolution white-light scanning interferometry for surface-profiling of hybrid bonding samples for advanced semiconductor packaging

Huy Hoang Chu ,  Dae Hee Kim ,  Jun Hyung Pa 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

Thickness Measurement of Optical Flats with Phase Extraction Algorithm and Wavelength-scanning Interferometry

W. Bae ,  Y. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

간섭계 레이더 고도계 비행시험 수행 및 결과분석

박지안 ,  김지형 ,  배재현 외 4명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2016 .11