메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
현창홍 (에스엔유프리시젼) 김성룡 (에스엔유프리시젼) 김광락 (에스엔유프리시젼) 박희재 (에스엔유프리시젼)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 한국생산제조시스템학회 추계학술대회
발행연도
2015.10
수록면
141 - 141 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구
현창홍 ,  김성룡 ,  김광락 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015.10 학술대회자료
백색광 위상 천이 간섭계에서의 칼라 카메라를 이용한 간섭 무늬 차수 결정 오차 보정
현창홍 기계항공공학부 2015.01 학위논문

초록· 키워드

오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
#Through-silicon via (TSV) #Bottom CD measurement #White-light scanning interferometry #Low numerical aperture interferometry #High aspect ratio

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

PDMS를 이용한 미세피치 BGA 패키지 테스트 소켓의 전기적 신호 측정
양시은 ,  홍석기 ,  최종하 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2016 .11
3D Surface and Thickness Profile Measurements of Si Wafers by Using 6 DOF Stitching NIR Low Coherence Scanning Interferometry
박효미 ,  최문성 ,  주기남 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2017 .02
챔버 컨덕턴스 변화에 따른 에칭 및 CD 변화특성
김준호 ,  윤덕용 ,  유충곤 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 .12
반도체 제조공정의 Critical Dimension 변동에 대한 통계적 분석
박성민 ,  이정인 ,  김병윤 외 1명 산업공학 (IE interfaces) 2003 .09
백색광 간섭계의 응용 및 정확도 향상
김영식 ,  이윤우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-552-001962383