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실시간 3D 형상 측정을 위한 층밀리기 간섭계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭성 백색광 주사 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
3 차원 자유 곡면 측정을 위한 단일 영상 층밀리기 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
편광 저간섭성 주사 간섭계 고속 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
광간섭계 시스템의 파장과 측정 거리 최적화를 통한 정밀 진동 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
대면적 자유곡면 형상 측정기 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
분산간섭계 원리를 이용한 다채널 광학 갭 센서 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
파장주사 Fizeau 간섭법의 균일 위상 오차를 제거하는 창함수 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
튜너블 레이저와 간섭계를 이용한 정밀 진동 측정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
전단간섭계를 이용한 알루미늄 평판시험편의 결함 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
초소형 측정 프로브 기반 저간섭성 주사 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
광섬유 링크를 통해 안정화된 다파장 간섭계 기반의 3 차원 초정밀 형상 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
파장 주사 Fizeau 간섭계와 Gaussian 창함수를 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면 형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2024 .07
Fizeau 간섭계를 이용한 X 선 거울 측정용 스티칭 간섭계 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
방향 판별 분산간섭계의 최적 조건 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
편광 격자 기반 층밀림 간섭계 응용
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Thickness Measurement of Optical Flats with Phase Extraction Algorithm and Wavelength-scanning Interferometry
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
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