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이 논문의 연구 히스토리 (2)
2016
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본 연구에서는 Pt/Ti 박막과 기판 사이 계면의 접합특성을 비파괴적으로 평가하는 acousto-optic 기법을 제안한다. 현재 상용화된 기술만으로 마이크로/나노 스케일의 박막을 평가하는데 많은 어려움이 있기 때문에 미세구조 변화에 민감한 광학기술과 음향기술이 결합된 간섭계를 적용하여 연구를 수행하였다. 사용한 기법은 마이켈슨 간섭계를 기반으로 하며, 거울에 의한 광 경로차 대신 박막시험편 계면의 진동 영향에 따라 발생하는 간섭현상을 분석하였다. 박막시험편은 특정 주파수에서 공진과 유사한 현상을 보이고 이로 인해 프린지 패턴의 콘트라스트가 낮아지므로, 각 주파수 대역별 프린지 패턴 변화를 스펙트럼 결과로 정량화하여 제안된 기법을 이용한 박막의 접합특성 평가 가능성을 확인하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 실험 장치 및 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
References
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - W. N. Sharpe Jr / 1997 / A new technique for measuring the mechanical properties of thin films / Journal of Microelectromechanical Systems 6 (3) : 193 ~ 199
[단행본] - C. A. Neugebauer / 1959 / Structure and Properties of Thin Films / Wiley
[학술지(정기간행물)] - Y. Kim / 1997 / Elastic modulus measurement of thin film using a dynamic method / Journal of Electronic Materials 26 (9) : 1002 ~ 1008
[학술지(정기간행물)] - S. Yoshida / 2015 / Opto-acoustic technique to investigate interface of thin-film systems / Advancement of Optical Methods in Experimental Mechanics 3 : 117 ~ 125
[학술지(정기간행물)] - R. Buzio / 2008 / Interfacial stiffness and adhesion of randomly rough contacts probed by elastomer colloidal AFM probes / Journal of Physics: Condensed Matter 20 (35) : 354014 ~
[단행본] - C. A. Neugebauer / 1959 / Structure and Properties of Thin Films / Wiley
[학술지(정기간행물)] - Y. Kim / 1997 / Elastic modulus measurement of thin film using a dynamic method / Journal of Electronic Materials 26 (9) : 1002 ~ 1008
[학술지(정기간행물)] - S. Yoshida / 2015 / Opto-acoustic technique to investigate interface of thin-film systems / Advancement of Optical Methods in Experimental Mechanics 3 : 117 ~ 125
[학술지(정기간행물)] - R. Buzio / 2008 / Interfacial stiffness and adhesion of randomly rough contacts probed by elastomer colloidal AFM probes / Journal of Physics: Condensed Matter 20 (35) : 354014 ~
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