메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
권의혁 (조선대학교) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
43 - 43 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

박막 구조 분석을 위한 이중 광간섭계 시스템 연구
권의혁 광기술공 2022.01 학위논문

2021

박막 구조 분석을 위한 이중 광간섭계 시스템 연구
권의혁 ,  주기남 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.11 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
최근 들어 반도체 및 디스플레이 분야에서 초소형의 고성능 제품을 생산하기 위해 여러 형태의 박막 구조물이 제조되고 있다. 또한, 에너지 분야에서 각광받고 있는 적층형 이차 전지의 경우, 금속 기판 양면에 다층의 유전물질이 박막으로 도포 되어있는 이차 전지 셀이 사용되고 있다. 이렇게 다양한 박막 구조물은 제품의 성능 확보 및 안정성 평가를 위해 기본적으로 박막의 구조 분석이 중요하며, 이를 위한 박막 측정 기술이 필수적이다. 그래서 본 연구에서는 현재 산업계에서 널리 사용되고 있는 다양한 박막 구조물을 분석하기 위한 이중 광간섭계 시스템을 개발하고 이를 실험적으로 검증한다. 제안하는 이중 광간섭계 시스템은 기존의 측정 시스템과는 달리, 시편의 위, ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040355');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Dual optical interferometer #Low coherence #2π ambiguity #Scanning interferometry #Dispersive interferometry

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

군용 무인항공기(UAV)와 엔진
이태호 국방과 기술 2024 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0