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저자정보
강수민 (한국기계연구원) 김택수 (KAIST)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
86 - 86 (1page)

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웨어러블, 바이오-메디컬 소자 등 차세대 응용 제품의 제작에서 기능성 나노박막 패턴을 목표 기판으로 옮기는 전사 기술은 핵심적이다. 그러나 장비 집약적이고 화학적 식각 공정을 수반하는 기존 리소그래피 기술의 도움 없이 나노박막의 원하는 영역 또는 정교한 패턴을 선택적으로 전사하는 것은 어려운 현황이다. 본 논문에서는, 물 표면장력을 이용한 나노박막 패턴의 선택적 전사 방법을 보여준다. 실리콘 기판 위에 증착된 나노박막을 비스듬한 각도로 물에 담그면 어떠한 화학제품이나 표면처리 없이 물 표면장력에 의하여 나노박막이 기판으로부터 자발적으로 박리되었다(Delamination On). 이때 나노박막의 표면 젖음 특성을 소수성에서 친수성^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040398');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Nanofilm #Selective transfer #Surface tension #Switchable delamination #Wettability

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