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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.12
- 수록면
- 401 - 407 (7page)
- DOI
- 10.14479/jkoos.2016.21.4.401
이용수
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목적: 본 연구는 1064 ㎚ 레이저용 f-theta 렌즈 설계 개발에 관한 것이다. 방법: 레이저 빔의 직경 15 ㎜, 결상점의 직경 30 ㎛ 이하, 광학계의 두께 70 ㎜ 이내, 작업거리 약 295 ㎜, 유효결상직경 약 260 ㎜ 이내의 사용자 조건을 만족하는 f-theta렌즈를 설계하기 위해 갈바노미러 구동각을 8개 줌모드로 설정하는 방법을 사용하였다. 결과: 8개 줌모드로 설정된 갈바노미러 구동각에 대해서 최적화함으로써 굴절력의 부호가 (+)(−)(+)(+)의 순서로 구성되고, 분해 가능한 선폭이 18.8 lps/㎜ (@ 40% MTF), 초점거리가 약 254 ㎜, 작업거리가 약 295 ㎜, 유효결상직경이 약 260 ㎜ 이내, 최대 갈바노미러 구동각이 ±10.5˚인 특성을 가지는 f-theta 렌즈를 설계할 수 있었다. 결론: 본 연구에서 우리는 갈바노미러 구동각을 다중 줌모드로 설정하는 방법을 f-theta렌즈 설계의 최적화에 이용함으로써 사용자의 요구조건을 만족시키는 f-theta렌즈를 쉽게 설계 제작할 수 있었다.
목차
서론
대상 및 방법
결과 및 고찰
결론
REFERENCES
참고문헌 (12)
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