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학술저널
저자정보
박승환 (을지대학교) 김순동 (극동대학교) 이동희 (극동대학교)
저널정보
한국안광학회 한국안광학회지 한국안광학회지 제24권 제4호
발행연도
2019.12
수록면
447 - 454 (8page)
DOI
10.14479/jkoos.2019.24.4.447

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목적: 본 연구는 532 nm 파장의 레이저용 텔레센트릭 F-theta 렌즈 설계에 관한 것이다. 방법: 레이저 빔의 직경 11 mm 이내, 결상 점의 spot 직경 10 μm 이내, 광학계의 두께 112 mm 이내, telecentricity 2.0o 이내, 작업거리 약 197 mm, 유효 결상 정사각형 면적의 대각선 길이 약 111 mm 이상인 사용자 조건을 만족하는 텔레센트릭 F-theta렌즈를 설계하기 위해, 두 X Y 갈바노미러 구동각을 9가지 상태로 분리하고, 상기 사용자 조건을 구속조건으로 하여 두 매의 (−,+) 굴절력의 구성에서 출발하여 렌즈 매수를 늘리면서 점진적으로 최적화하는 방법을 사용하였다. 결과: 최적화 되어진 텔레센트릭 F-theta 렌즈는 굴절력의 부호가 (−, +, −, +, +, +)의 순서이고, 초자의 구성이 (NLAF2, NLAF2, NSF4, NLAF2, NLAK12, NSK16)의 순서로 되는 6매의 렌즈로 구성되었다. 분해 가능한 선폭은 50.0 lps/mm(@ 30% MTF)이며, 유효 초점거리는 약 162.7 mm이며, 작업거리는 약 197.0 mm이며, 유효결상면 면적이 약 8.7 × 78.7 ㎟이며, 갈바노미러의 최대 구동각이 ± 6.93° 인 특성을 가지게 되었다. 결론: 본 연구에서 우리는 두 X Y 갈바노미러 구동각의 조합을 9가지 상태로 나누고, 각 구동각 상태에서의 유한광선 수차 및 주광선의 telecentricity를 최소화하는 방법을 사용하여, 초점거리가 162.7 mm인 텔레센트릭 F-theta 렌즈를 개발하였다. 개발된 렌즈는 관통홀 가공기, 마킹기, 3D 프린팅 장비 등에 사용될 수 있다.
#532 nm wavelength laser #F-theta lens #Through-hole making machine #3D printing #Telecentricity #532 nm 파장 레이저 #F-theta 렌즈 #관통홀 가공기 #3D 프린팅

목차

서론
대상 및 방법
결과 및 고찰
결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
SMTEDU / Laser Marking google schola Changchun New Industries Optoelectronics Technology Co., Ltd. / 532 nm Laser Marking Machine google schola 이동희 / 2016 / 1064 nm 레이저용 F-theta 렌즈의 설계 개발 / 한국안광학회지 21(4):401~407 dbpia 이제성 / 2019 / 10.6 μm CO2 레이저용 F-theta 렌즈의 설계 개발 / 한국안광학회지 24(2):161~167 google schola THORLABS / F-Theta Scan Lenses google schola

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