지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제20권 제4호
- 발행연도
- 2019.1
- 수록면
- 418 - 423 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Titanium dioxide (TiO2) thin films were deposited on Si(100) substrates with RF magnetron sputtering, and variations of their structural and surface characteristics with sputtering process condition were investigated. TiO2 films were grown as a polycrystalline state with mixed phase of anatase and rutile at room temperature. The grain size and surface roughness decreased with increase of O2 gas molar ratio in ambient mixed gas of Ar and O2 during film deposition. XPS results showed the chemical state and stoichiometry did not strongly depend on Ar/O2 ratio in ambient gas. The water contact angle of the film surface became larger as the grain size and surface roughness of the film decreased. It is considered that hydrophilicity of the TiO2 film depend mainly on surface morphology and roughness rather than crystalline structure and chemical state of the film.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (34)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
DC 펄스 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 특성변화에 관한 연구
한국표면공학회지
2015 .04
-
증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화
열처리공학회지
2016 .01
-
자기세정을 위한 스퍼터링 TiO2 박막의 산소 표면처리에 따른 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구
한국안광학회지
2019 .09
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 GZO 박막의 Ar 유량에 따른 특성
전기전자재료학회논문지
2020 .01
-
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성
한국표면공학회지
2019 .08
-
Characteristic of TiO₂ Thin Film Deposited by Using RF Reactive Sputtering Method for n-i-p Planar Structured Perovskite Solar Cells
AFORE
2021 .10
-
RF-diode Sputtering법으로 제작한 Co박막의 자기특성과 미세구조
한국재료학회지
2018 .01
-
스퍼터링을 이용한 바나듐 합금 박막화에 관한 연구
화학공학
2016 .01
-
듀얼 마그네트론 스퍼터링 법으로 제조된 Pd-Doped Carbon 박막의 물리적 특성에서 Pd 타겟 전력의 영향에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2022 .09
-
P-type Electrical Characteristics of the Amorphous La₂NiO4+δ Thin Films
한국표면공학회지
2018 .08
-
Phase Behavior of 6-arm Star (PMMA-b-PS)6 in Thin Films
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2020 .10
-
Nonclassical Nanostructures of 6-arm Star-shaped (PMMA-b-PS)6 in Thin Film
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
-
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 질화티타늄 박막 특성
공학기술논문지
2024 .09
-
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2019 .06
-
Thermal oxidation temperature effect on the phases and photocatalytic properties of silver-doped TiO2 thin film prepared by co-sputtering
Journal of Ceramic Processing Research
2021 .01
-
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
-
In Situ Heat Treatment of ZnO:Al Thin Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering
전기전자재료학회논문지
2017 .05
-
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 다층박막의 전기적 및 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
-
Ti 완충층 두께에 따른 In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ti 적층박막의 전기적, 광학적 특성 변화
열처리공학회지
2015 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0