RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구

장대광; 김영미; 정예린; 이주학; 하병호; 김기홍

doi:10.14479/jkoos.2019.24.3.287

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저자정보: 장대광 (대구가톨릭대학교) 김영미 (대구가톨릭대학교) 정예린 (대구가톨릭대학교) 이주학 (대구가톨릭대학교) 하병호 (대구가톨릭대학교) 김기홍 (대구가톨릭대학교)

저널정보: 한국안광학회 한국안광학회지 한국안광학회지 제24권 제3호

발행연도: 2019.9

수록면: 287 - 294 (8page)

DOI: 10.14479/jkoos.2019.24.3.287

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목적: 산업현장에서 사용하는 작업용 보안경, 일반 시력보정용 안경 및 각종 광학기기 등에서 필요한 방담성(antifogging)을 갖는 친수성 박막을 제작하고 박막의 특성을 연구하고자 한다. 방법: RF magnetron sputtering 증착법으로 TiO₂, SiO₂, ZrO₂ 등의 코팅재료를 이용하여 단일박막과 각 소재의 조합으로 다층박막을 제작하며, Substrate는 Slide glass를 사용하였고, 진공도는 4.0 × 10-2 torr, RF-power는 70 W, 기판과의 거리는 80 mm 등의 박막공정으로 증착하여 광학적, 기계적 특성을 분석하였다. 결과: 제작된 광학박막의 형태 및 결정성분 분석을 위해 SEM, AFM을 이용하여 분석하였고, 화학적 조성분석을 위해 SEM-EDS를 이용하였고, 광투과율은 UV-visible spectrophotometer, 접촉 각은 Contact angle analyzer를 이용하여 분석하였다. 결론: 광학박막의 최외층이 SiO₂, TiO₂ 단일박막, 다층박막일 때 다른 조건의 광학박막에 비해 방담성이 우수한 것으로 확인되었으며, RF 마그네트론 스퍼터링이 안경렌즈 및 광학기기 등의 광학적 성능을 향상시키기 좋은 증착법임을 확인하였다.

#RF magnetron sputtering #TiO₂ #SiO₂ #ZrO₂ #Optical thin film #RF magnetron sputtering #광학박막

참고문헌 (36)

참고문헌 신청

김성화 / 2002 / 이온빔 보조 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된TiO2 박막의 특성 / Applied Science and Convergence Technology 11(3):141~150

Korea Institute of Science and Technology Information / Recent Study of DLC Coating for Green Automotive Industry

Mertens J / 2017 / Chemical and physical effect of SiO2 and TiO2nanoparticles on highly hydrophobic fluorocarbon hybrid coatings synthesized by atmospheric plasma / Surface and Coatings Technology 315:274~282

Zhao Z / 2016 / Enhanced Raman scattering and photocatalytic activity of TiO2 films with embedded Ag nanoparticles deposited by magnetron sputtering / J Alloys Compd 679:88~93

Adamczyk A / 2018 / The influence of ZrO2 precursor type on the structure of ZrO2-TiO2-SiO2 gels and selected thin films / J Mol Struct 1171:706~716

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