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This study reports a fabrication of TiO₂ on the surface of dental implants by pulsed d.c. magnetron sputtering from a Ti target. A systematic investigation on the microstructure and mechanical properties of TiO₂ films was carried out with the variation of O₂ contents and substrate temperatures. The effects of deposition parameters on the fabricated structures were investigated by X-ray diffraction (XRD) technique and field emission scanning electron microscope (FE-SEM). Hydrophilic properties were evaluated by measuring water contact angles on the film surface. With increasing O₂ contents up to 40%, surface roughness of TiO₂ film increased while relatively smooth surface was obtained with 50% O₂ contents. Surface roughness and adhesion strength both increased as substrate temperature increased up to 200°C. From these results, hydrophilic and adhesive properties of the present TiO₂ films synthesized with 40% O₂ at 200°C are regarded to be suitable for biocompatible applications.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
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