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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제1호
발행연도
2020.1
수록면
25 - 30 (6page)

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Oxide(SiO2)/Metal(Ag)/Oxide(SiO2, ITO, ZnO) 다층구조를 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 실온에서 Si (p-type, 100)과 유리기판위에 증착하였다. 비대칭 다층 박막의 전기, 광학적 특성은 중간층의 두께와 하부 층의 산화물 종류에 의존한다. 금속층이 두꺼워지면 면저항은 감소하게 된다. 하지만 금속 층이 특정 두께 이상일 때 투과도는 감소하게 된다. 게다가, 면저항과 투과도는 하부층 산화물의 종류에 따라서도 변할 수 있다. 산화물층이 큰 비저항 값을 갖으면 전체 면저항은 상승한다. 또한, 산화물층의 굴절률에 따라 반사 방지 효과도 달라져 투과도에 영향을 미치게 된다. 다층 박막의 광학, 전기적 특성을 각각 UV-Vis 분광광도계와 4탐침법을 이용하여 조사하였다. 최적의 구조는 SiO2(30 nm)/Ag(10 nm)/ZnO(30 nm) 다층 구조이며, 이 박막은 7.7 ×10-3 Ω-1 의 가장 높은 성능지수를 갖는다.

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참고문헌 (18)

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K. Ellmer / 2012 / Nat. Photonics 6:809 Crossref X. Yu / 2016 / Nat. Mater 15:383 Crossref H. Agura / 2003 / Thin Solid Films 445:263 Crossref H. Kim / 2004 / Appl. Phys. Lett 84:218 Crossref D. S. Hecht / 2011 / Adv. Mater 23:1482 Crossref

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