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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박새봄 (부산대학교 나노융합기술학과) 김치환 (부산대학교 나노융합기술학과) 김태규 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제31권 제4호
발행연도
2018.1
수록면
187 - 193 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

DLC의 가스베리어성, 투과율, 전기전도성 특성 연구
박새봄 나노융합기술학과 2018.01 학위논문
DLC 박막의 전기전도성, 투과율 및 가스베리어 특성에 관한 연구
박새봄 ,  김치환 ,  김태규 열처리공학회지 2018.01 학술저널

초록· 키워드

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In this study, the electrical conductivity, transmittance and gas barrier properties of diamond-like carbon (DLC) thin films were studied. DLC is an insulator, and has transmittance and oxygen gas barrier properties varying depending on the thickness of the thin film. Recently, many researchers have been trying to apply DLC properties to specific industrial conditions. The DLC thin films were deposited by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) process. The doping gas was used for the DLC film to have electrical conductivity, and the optimum conditions of transmittance and gas barrier properties were established by adjusting the gas ratio and DLC thickness. In order to improve the electrical conductivity of the DLC thin film, $N_2$ doping gas was used for $CH_4$ or $C_2H_2$ gas. Then, a heat treatment process was performed for 30 minutes in a box furnace set at $200^{\circ}C$. The lowest sheet resistance value of the DLC film was found to be $18.11k{\Omega}/cm^2$. On the other hand, the maximum transmittance of the DLC film deposited on the PET substrate was 98.8%, and the minimum oxygen transmission rate (OTR) of the DLC film of $C_2H_2$ gas was 0.83.
#DLC #Amorphous carbon #RF-PECVD #Heat treatment #Conductivity #Transparent #OTR

목차

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2013 / 디스플레이 기능성 소재, Vol. 3 Issue 2 kisti market report google schola J. Robertson / 2002 / Materials Science and Engineering 37:129 Crossref Weili Zhang / 2003 / Solid State Communications 126:163~166 Crossref G. A. Abbas / 2005 / Thin Solid Films 482:201~206 Crossref Masaki Nakaya / 2015 / Coatings 5:987~1001 Crossref

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