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In this work, diamond-like carbon (DLC) films are coated onto plasma nitrided AISI 4140 steel by DC-pulsed PECVD. One problem of DLC films is their very poor adhesion on steel substrates. The purpose of the nitriding was to enhance adhesion between the substrate and the DLC films. The white layer formation is avoided. Plasma nitriding increased adhesion from 8 N for DLC coating to 25 N for duplex coating. Duplex plasma nitriding/DLC coating was proven to be more effective in improving the adhesion. The purpose of the bond layer was to enhance adhesion between the substrate and the DLC films.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
References
참고문헌 (20)
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J. Robertson, Hard amorphous (diamond-like) carbons, Prog. Solid State Chem. 21 (1991) 199? 333.
N. Nelson, R.T. Rakowski, J. Franks, P. Woolliams, P. Weaver, B.J. Jones, The effect of substrate geometry and surface orientation on the film structure of DLC deposited using PECVD, Surface & Coatings Technology 254 (2014) 73?78.
S.D. Lawes, M.E. Fizpatrick, S.V. Hainsworth, Evaluation of the Tribological Properties of DLC for Engine Applications, J. Phys. D: Appl. Phys. 40 (2007) 5427?5437.
T. Wu, K. Cheng, An investigation on the micro cutting performance of diamond-like carbon coatings using finite element method, Int. J. Adv. Manuf. Technol. 73 (2014) 1321?1340.
Y. Sugaya, Y. Motohashi, Development of Shrinkage-Fit Die Coated with Film Possessing Low Friction Coefficient for Compacting Metal Powders, J. JSTP 48 (2007) 110?114.
N. Nelson, R.T. Rakowski, J. Franks, P. Woolliams, P. Weaver, B.J. Jones, The effect of substrate geometry and surface orientation on the film structure of DLC deposited using PECVD, Surface & Coatings Technology 254 (2014) 73?78.
S.D. Lawes, M.E. Fizpatrick, S.V. Hainsworth, Evaluation of the Tribological Properties of DLC for Engine Applications, J. Phys. D: Appl. Phys. 40 (2007) 5427?5437.
T. Wu, K. Cheng, An investigation on the micro cutting performance of diamond-like carbon coatings using finite element method, Int. J. Adv. Manuf. Technol. 73 (2014) 1321?1340.
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