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학술저널
저자정보
전호빈 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) 김고은 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) 송인웅 (한국표준과학연구원 우주광학센터) 강혁모 (한국표준과학연구원 우주광학센터) 이혁교 (한국표준과학연구원 우주광학센터) 김영식 (한국표준과학연구원 우주광학센터) 양호순 (한국표준과학연구원 우주광학센터) 권종훈 (LG이노텍)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제15권 제3호
발행연도
2016.1
수록면
62 - 66 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2017

로봇팔 타입 삼차원좌표측정기를 이용한 광학계의 정밀 조립
전호빈 대학교 2017.01 학위논문

2016

광학계 비점 수차 보정에 따른 Point-Spread-Function 의 변화
전호빈 ,  이혁교 ,  김영식 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.10 학술대회자료
로봇팔 타입 삼차원좌표측정기를 이용한 광학계의 비축수차 보정
전호빈 ,  김고은 ,  송인웅 외 5명 반도체디스플레이기술학회지 2016.01 학술저널

2015

로봇팔 3 차원 좌표 측정기를 이용한 광학계의 코마 수차 보정
전호빈 ,  이혁교 ,  권종훈 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

초록· 키워드

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Optical system needs to be aligned before its undergoing process, is usually shows coma aberrations, which occurred due to imperfection in the lens or other components results in off-axis point sources, appearing to have a tail like a comet. There are some methods to correct coma aberration. In this paper, to correct coma aberration in optical system, using a robot arm type coordinate measuring machine(CMM). CMMs are widely used to measure the form of accuracy of parts and positioning accuracy of systems. Among them, robot arm type CMM has more advantages than the others, such as its mobility and measuring range. However, robot arm type CMM has lower accuracy than cantilever type CMM. To prove robot arm type CMM's accuracy, several factors were suggested in this paper and the final measuring results were compared to a commercial cantilever type CMM. Based on this accuracy, a typical optical system was successfully aligned by using our robot arm type CMM.
#aberration correction #coordinate measuring machine #robot arm #alignment

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참고문헌 (10)

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김윤정 / 2013 / Modeling Alignment Experiment Errors for Improved Computer-Aided Alignment / Current Optics and Photonics 17(6):525~532 google schola J. Liu / 2005 / Study on computer-aided alignment method / Proc. SPIE 5638:674~681 google schola D. C. Redding / 2004 / Optical state estimation using wavefront data / Proc. SPIE 5523:212~224 google schola S. Kim / 2007 / Merit function regression method for efficient alignment control of two-mirror optical systems / Opt. Express 15:5059~5068 google schola 이승표 / 2009 / 3차원 좌표 측정기의 측정 성능에 대한 실험적 연구 / 한국정밀공학회지 26(3):47~54 dbpia

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