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학술대회자료
저자정보
김수연 (한밭대학교) 조인호 (한밭대학교) 유영은 (한국기계연구원) 김정환 (한밭대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021 한국생산제조학회 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.7
수록면
170 - 170 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2023

스퍼터링 증착법으로 제작된 금속/산화물 박막의 구조색 연구
김수연 ,  이승훈 ,  김정환 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2023.12 학술대회자료
저온에서 원자층 증착법으로 제작된 HfO₂ 박막의 특성 연구
김수연 ,  이승훈 ,  조인호 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2023.07 학술대회자료
원자층 증착법(ALD)을 이용하여 저온에서 제작된 금속 산화물 박막의 유전 강도 및 박막 내 산소 결함의 영향에 관한 연구
김수연 응용소재공학과 2023.01 학위논문

2021

저온에서 원자층 증착법으로 제작된 Al₂O₃, TiO₂ 박막의 특성 연구
김수연 ,  조인호 ,  유영은 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021.07 학술대회자료

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#Atomuc layer deposition(ALD) #Al₂O₃ #TiO₂ #Low temperature deposition #Thin film

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