원자층 증착법으로 제작된 Al₂O₃ 초박막 기반의 금속 나노입자 촉매 응집 제어

김수연; 이승훈; 조인호; 서종수; 전성현; 정우철; 김정환

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저자정보: 김수연 (한밭대학교) 이승훈 (한밭대학교) 조인호 (한밭대학교) 서종수 (KAIST) 전성현 (KAIST) 정우철 (KAIST) 김정환 (한밭대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022 한국생산제조학회 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2022.7

수록면: 236 - 236 (1page)

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