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박소민 (성균관대학교) 박형기 (성균관대학교) 김성헌 (성균관대학교) 차예원 (성균관대학교) 정성진 (성균관대학교) 김태용 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2021년도 제52회 대한전기학회 하계학술대회
발행연도
2021.7
수록면
1,423 - 1,424 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

실리콘 이종접합 태양전지용 IZO 박막의 고이동도 특성에 대한 산소 플라즈마 처리의 영향
박소민 ,  김태용 ,  차예원 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2022.07 학술대회자료

2021

실리콘 이종접합 태양전지 적용을 위한 IZO 박막의 sputtering power에 의해 계면에 미치는 영향
박소민 ,  박형기 ,  김성헌 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2021.07 학술대회자료

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스퍼터링에 의해 증착된 투명 전도성 산화물(TCO)의 파워를 가변하여 계면 손상에 미치는 영향에 대해 확인한다. 인듐 아연 산화물(IZO) 박막 증착 시 50W, 100W, 150W, 200W, 250W의 파워를 가한 후 전자 이동도, 캐리어 밀도, 증착률과 면저항을 측정하여 전기적^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10610242');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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