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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.1
- 수록면
- 321 - 326 (6page)
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본 연구는 웨이퍼를 적재할 때 웨이퍼의 손상을 최소화 시키기 위한 기술이다. 반도체와 솔라셀에 이용되는 두께가 얇은 웨이퍼는 적재된 웨이퍼 사이의 표면 장력에 의해 웨이퍼의 분리를 어렵게 만들어 웨이퍼의 표면에 손상을 줄 수 있다. 이러한 웨이퍼의 손상을 최소화시키는 기술은 압축 공기를 웨이퍼 쪽으로 분사하고, 미소의 수평 이동 기구를 동시에 적용하는 것이다. 연구에 사용된 주요 실험 인자는 웨이퍼의 공급 속도, 압축 공기의 노즐 압력, 그리고 흡착헤드의 흡착 시간이다. 실험 결과, 동일한 노즐 압력에서 웨이퍼의 공급 속도가 빠를수록 파손율이 증가하고, 동일한 공급 속도에서는 노즐 압력이 낮을수록 파손율이 증가한다. 그리고, 웨이퍼를 흡착시키데 필요한 시간은 어느 수준 이상이면 웨이퍼의 공급 속도에 따른 파손율에는 큰 영향을 미치지 않는다. 본 연구의 실험 범위 안에서 최적의 실험 조건은 웨이퍼의 공급 속도 600 ea/hr, 압축 공기의 노즐 압력 0.55 MPa, 흡착 헤드의 흡착 시간 0.9 sec 이다. 또한, 반복성능 실험을 통해 개선된 기술은 웨이퍼의 파손율을 최소화시킬 수 있음을 보여 주었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 개선된 웨이퍼 적재 기구
3. 성능평가실험 및 분석
4. 결론
References
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
J. K., Won, J. H., Lee, J. T., Lee, E. S., Lee, “The Selection on the Optimal Condition of Si-wafer Final Polishing by Combined Taguchi Method and Respond Surface Method,” Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers , Vol.17, No.1, pp.21-28, Feb. 2008.
B. S., Yeb, “Development of Automatic Precision Inspection System for Defect Detection of Photovoltaic Wafer,” Korean Society of Manufacturing Technology Engineers , Vol.20, No.5, pp.666-672, Oct. 2011.
D. H., Lee, C., Lee, S. D., Kim, H. C., Young, “Full Duplex Robot System for Transferring Flat Panel Display Glass,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers , Vol.22, No.6, pp.996-1002, Jun. 2013. DOI: https://dx.doi.org/10.7735/ksmte.2013.22.6.996
J. H., Kim, “Design of the Air Pressure Pick-up Head for Non-contact Wafer Gripper,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers , Vol.21, No.3, pp.401-407, Jun. 2012.
J. H., Kim, “Study on Through Paths Inside the Air Pressure Pick-up Head for Non-contact Gripper,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers , Vol.21, No.4, pp.563-569, Aug. 2012. DOI: https://dx.doi.org/10.7735/ksmte.2012.21.4.563
B. S., Yeb, “Development of Automatic Precision Inspection System for Defect Detection of Photovoltaic Wafer,” Korean Society of Manufacturing Technology Engineers , Vol.20, No.5, pp.666-672, Oct. 2011.
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