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저자정보
윤하영 (한국기계연구원) 임재승 (한국기계연구원) 한성흠 (한국기계연구원) 이재학 (한국기계연구원) 박아영 (한국기계연구원) 김승만 (한국기계연구원)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021 한국생산제조학회 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.7
수록면
181 - 181 (1page)

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2022

펨토초 펄스 레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정 연구
윤하영 ,  강수민 ,  임재승 외 5명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022.12 학술대회자료

2021

SiC 웨이퍼 박형화를 위한 펄스 레이저 기반 내부 가공 공정 연구
윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 5명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021.12 학술대회자료
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021.07 학술대회자료

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#Silicon carbide wafer #Wafer thinning #Femtosecond pulse laser #Photochemical

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