메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
황경환 (한국생산기술연구원) 이상직 (한국생산기술연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
178 - 178 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2022

SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태감시
황경환 ,  김동한 ,  이상직 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022.07 학술대회자료
다중센서 융합에 의한 SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시
황경환 ,  김동한 ,  이상직 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.05 학술대회자료

2021

다중센서 기반 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시 시스템 개발
황경환 ,  이상직 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.11 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
세계적으로 강화되고 있는 환경규제에 대응하기 위해 세계각국에서는 탄소중립에 대한 정책과 기술에 대한 관심이 급증되고 있으며, 친환경 미래형 자동차 및 고효율 인버터와 전력반도체에 대한 필요성이 증대 되고 있다. 반도체소자는 고출력, 고효율 전력변환소자 분야에 있어 열특성 향상·속도 강화·고전압/대전류 가능 및 스위칭 손실 최소화 등이 가능하여 고성능 고품질의 웨이퍼개발에 주력하고 있다. 웨이퍼 가공 시, 연삭기의 강성과 탄성 변형량, 숫돌의 특성, 가공 조건 등에 따른 가공 부하의 변화에 따라 실제 절입량과 웨이퍼의 두께 사이에는 상당한 차이를 가지게 되며, 이는 웨이퍼 내의 두께 편차(TTV) 증가와 더불어 웨이퍼 간의 두께 편차 발생, 웨이퍼 파손 및 연삭기고장의 주요 원인이 되므로 실시간 감시^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040487');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Wafer #Wafer grinding #Signal processing #Condition monitoring system

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0