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학술대회자료
저자정보
김동성 (쎄크)
저널정보
대한용접·접합학회 대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집 대한용접·접합학회 2021년도 춘계학술대회 [초록집]
발행연도
2021.5
수록면
172 - 172 (1page)

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X-ray는 병원에서 인체의 내부를 2D, 3D CT를 촬영하듯이 산업용에서도 반도체, PCB, 자동차 전장부품, 카메라 모듈 등의 전자부품 내부의 결함을 찾아내는데 2D와 3D CT 촬영 기법이 사용된다. 특히, 산업용 X-ray 장비는 chip 내부의 micro-bump, TSV, Bonding wire 및 표면 실장 후 수십 ~ 수백 ㎛ 크기의 solder ball, BGA 등의 불량 검사를 수행한다.
과거에 single-layer PCB 또는 단층의 chip 내부의 수백 ㎛ 크기의 solder ball 검사로 2D X-ray 또는 AOI(Automated Optical Inspection) 장비로 검사를 하였으나, 적층 기술의 발전과 부피 최소화 추세로 Multi-layer PCB, TSV, micro-bump 등의 적층 형태 또는 수십 ㎛ 크기의 solder ball 검사가 요구된다.
기존의 AOI 장비는 가시광 영역^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10567101');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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