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민현규 (경성대학교) 박준협 (경성대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 재료 및 파괴부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
80 - 80 (1page)

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박막의 기계적 물성 측정은 반도체 공정 및 MEMS 기술을 적용한 제품의 설계 및 해석을 위한 기본 자료가 될 뿐만 아니라, 부품의 신뢰성 문제와 깊은 관련이 있다. 같은 재료라 하더라도 박막은 거대 구조물(bulk)과는 기계적 물성이 현저히 다르므로, 실제 공정 및 제품에 사용되는 구조물의 크기를 가지는 시편을 제작하여 그물성을 측정할 필요가 있다. 따라서 본 연구에서는 박막의 기계적 물성의 측정^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10584310');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Thin Film #Tensile Test #In-situ SEM #Reliability

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