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논문 기본 정보

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저자정보
정의민 (성균관대학교) 박동현 (성균관대학교) 이동우 (성균관대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 재료 및 파괴부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
98 - 98 (1page)

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박막은 반도체, 필터, 연료전지 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 이러한 첨단 산업의 발달과 더불어 벌크 (bulk) 시편의 물성과 다른 값을 가지는 미소 단위의 물리적, 기계적 물성 정보의 필요성 또한 대두되었다. 대표적인 미소 시편 물성 측정 방법 중 압축 (compression) 실험으로는 나노압입실험 (nanoindentation)이 있으며, 인장 (tensile) 실험으로는 벌지 (bulge) 실험, Membrane Deflection Experiment (MDE), 통합인장실험이 (Integrated tensile test) 있다. (1) 하지만 압축 실험으로는 박막의 중요한 특성 중 하나인 잔류 응력을 얻기 어려우며, 인장 실험은 시편 제작과 물성 평가 단계가 복잡하다는 한계점이 있다. 한 번의 실험으로 다량의 데이터를 획득할 수 있는 고속대량측정법은 보다 직관적이고 간단한 제작법과 실험법을 필요로 한다. 본 연구^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10584328');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#High-throughput Experiment (고속대량측정법) #Thin Films (박막) #Mechanical Properties (기계적 물성) #Spherical Indentation (구형압입실험)

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