구배형 및 5차 함수 굴절률 분포의 반사방지막 구현과 비교

김창봉

doi:10.14801/jkiit.2021.19.12.79

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김창봉 (공주대학교)

저널정보: 한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제19권 제12호(JKIIT, Vol.19, No.12)

발행연도: 2021.12

수록면: 79 - 84 (6page)

DOI: 10.14801/jkiit.2021.19.12.79

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본 논문에서는 제안하는 구배형과 기존의 5차 함수 굴절률 분포의 반사방지막의 반사율을 조사하였다. 이를 위하여 구배형 및 5차함수 굴절률 분포를 갖는 3층 구조의 서로 다른 매질로 이루어진 반사방지막을 원자층증착법(Atomic layer deposition)을 사용하여 구현하였다. 구현된 5차 함수와 구배형 굴절률 분포의 반사방지막의 반사율을 측정하고 결과를 비교하였다. 그 결과로서 시뮬레이션에서 얻은 앞선 결과와 동일하게 약 600 nm ∼ 1100 nm 범위에서 구배형이 5차 함수 보다 더 낮은 반사율을 보였다. 향후 이 결과는 약 600 nm ∼ 1100 nm 영역에 사용되는 광소자 및 광필터 등에 적용되는 반사방지막 기술에 응용 가능하리라 판단된다.

#antireflection coating #graded index profile #atomic layer deposition #reflectance

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N. Shelat / 2019 / Nano-structured Photovoltaic Cell Design for High Conversion Efficiency by Optimizing Various Parameters / 2019 29th Australasian Universities Power Engineering Conference (AUPEC) :1~6

N. Das / 2013 / Analysis of incident light angles on nano-grating structure for minimizing reflection losses in GaAs solar cells / 2013 Australasian Universities Power Engineering Conference (AUPEC) :1~6

J. Soeda / 2020 / Broadband Anti-Reflection coating for THz waves developed with Si nanoparticle-polymer composite material / 202045th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)

M. S. Sarker / 2019 / Otimization of multilayer antireflection coatings foe improving performance of silicon solar cells / International Conference on Computer, Communication, Chemical, Materials and Electronic Engineering(IC4ME2) :1~4

M. Kuo / 2008 / Realization of a Near-perfect Antireflection Coating for Silicon Solar Energy Utilization / Optics Letters 33(21):2527~2529

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