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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
홍준호 (금오공과대학교) 신동원 (금오공과대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제21권 제3호
발행연도
2022.3
수록면
100 - 109 (10page)

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In this study, calibration technology that increases the alignment accuracy in large flexible flat panels was studied. For precise of calibration, a systematization of the calibration algorithm was established, and a calibration correction technique was studied to revise calibration errors. A coordinate systems of camera and UVW stage was established to get the global position of the mark, and equations for translational and rotational calibration were systematically derived based on geometrical analysis. Correction process for the calibration data was carried, and alignment experiments were performed sequentially in cases of the presence or absence of calibration-correction. Alignment results of both calibration correction and non-calibration correction showed accuracy performance less than 1μm. On the other hand, the standard deviation in calibration-correction is smaller than non-calibration correction. Therefore, calibration correction showed improvement of the alignment repeatability.
#Lage Flat Panel Display(대형평판 디스플레이) #Camera(카메라) #Mark(마크) #Alignment(정렬) #Calibration(캘리브레이션) #Calibration Correction(캘리브레이션 보정)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. Vision Aligner의 구성요소
3. 좌표계
4. Calibration 알고리즘
5. Calibration의 보정 알고리즘
6. 실험결과
7. 결론
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