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하윤근 (부산대학교) 백주환 (부산대학교) 심준형 (부산대학교) 김민균 (부산대학교) 조영래 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
139 - 139 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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본 연구에서는 비정질 CoFeB 박막의 자기적 특성과 표면형상간의 상관관계에 대해 조사하였다. 다양한 두께의 비정질 CoFeB 박막은 Ar plasma etching된 polymethyl methacrylate (PMMA) 기판 위에 증착되었다. 에칭시간이 증가함에 따라 기판과 박막의 표면거칠기가 증가하였고, 이는 기판의 거칠기와 박막 표면 사이의 강판 상관관계가 있는 등각 증착을 보여준다. 또한 에칭 시간이 증가할수록 보자력(Hc)이 증가하지만 포화자화(Ms)는 감소하였다. 에칭시간이 증가할 때 나타나는 보자력과 포화자화의 상반된 특징은 거친 표면형상으로 인한 다자구(multi-domain) 형성과 연관된다^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10599497');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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